Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.361-362
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Effect of Slurry on Chemical Mechanical Polishing of 6H-SiC

연마액이 6H-SiC의 화학적 기계적 연마에 미치는 영향

이호준 (부산대학교 기계공학부) ;
안준호 (부산대학교 기계공학부) ;
정석훈 (부산대학교 기계공학부) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2008.06.11

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