한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

FEM 을 이용한 나노임프린트 공정의 디몰딩 결함 연구

Prediction of Demolding-defects in Nanoimprint Lithography Using FEM Simulation

  • 손지원 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 송남호 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 오수익 (서울대학교 기계항공공학부)
  • 발행 : 2008.06.11
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