한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

PSM 나노스테이지를 적용한 AFM 개발

Development of AFM Using PSM Nano-Stage

  • 이득우 (부산대학교 나노과학기술학부 나노시스템공학과) ;
  • 최수창 (부산대학교 나노과학기술학부 나노융합기술학과) ;
  • 김용우 (부산대학교 나노과학기술학부 나노융합기술학과) ;
  • 박정우 (부산대학교 ILIC)
  • 발행 : 2008.06.11
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