셰이핑 공정을 이용한 고 세장비 미세 채널패턴 가공

High Aspect Ratio Micro Channel Pattern Machining using Shaping Process

  • 김병두 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 이강원 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 이응숙 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 제태진 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
  • 발행 : 2008.06.11