Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2008.06a
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  • Pages.631-632
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  • 2008
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Design of a Megasonic for Nano-pattern Cleaning using Finite Element Methods with Performance Evaluation

유한요소해석을 이용한 나노패턴용 메가소닉의 설계 및 성능평가

  • 김현세 (한국기계연구원 에너지기계연구본부) ;
  • 이양래 (한국기계연구원 에너지기계연구본부) ;
  • 임의수 (한국기계연구원 에너지기계연구본부)
  • Published : 2008.06.11
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Abstract

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