한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

볼 스크류 구동 스테이지의 나노포지셔닝 제어

Nanopositioning Control for Bal-Screw Driven Stage

  • 김규하 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 조상구 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 김완수 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 이선규 (광주과학기술원 기전공학과)
  • 발행 : 2008.06.11
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