한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

플라즈마트론 방식의 이온건의 특성 연구

A Study on a Plasmatron Ion Source

  • 최성창 (송도테크노파크 나노표면기술실) ;
  • 한재길 (송도테크노파크 나노표면기술실) ;
  • 석진우 (피앤아이 기술연구소) ;
  • 백영환 (피앤아이 기술연구소)
  • 발행 : 2008.06.11
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