Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.949-950
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Characterization of RF Ion Source for Nanofabrication

미세부품가공을 위한 이온빔 가공장치의 RF 이온원 방전 특성 연구

김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구부) ;
김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구부) ;
강재욱 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구부)

Published : 2008.06.11

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Abstract

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