한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

CrN/AlSiN multilayer coatings의 고온안정성 및 특성에 관한 연구

  • 김영수 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 김광석 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 김성민 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 허용강 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 항공재료공학과)
  • 발행 : 2008.11.19
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초록

Cr and AlSi (Si=20 and 66 at.%) target들을 이용하여 Closed-field unbalanced magnetron sputtering (CFUBMS)으로 증착된 주기($\Lambda$)가 2.3 nm에서 8.0nm인 CrN/AlSiN multilayer coatings의 crystal structure, 화학적 조성, 및 기계적 특성을 glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES), X-ray diffractometry (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and nano-indenter 등의 분석장비를 이용하여 분석하였다. 고온안정성을 시험하기 위하여 $800^{\circ}C$와 $1000^{\circ}C$ 공기중 에서 30분 열처리하였다. CrN/AlSiN multilayer coatings의 고온안정성은 Si조성이 증가함에 따라 향상되었다. Si이 18.2 at.%함유된 coating이 가장 우수한 고온안정성을 갖고 있다.

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