Micro Blade용 Bond 재료에 있어 윤활첨가에 따른 마모시험특성

Sample of Presentation Title of Surface Engineering

반도체 산업에 있어 package 절단에 사용되는 diamond micro blade의 성능은 그 반도체의 자체적 성능에서뿐만 아니라 생산 비용 등에 있어서도 매우 중요한 비중을 차지하고 있다. 이러한 블레이드의 성능향상을 위해 윤활첨가제(흑연, $MoS_2$)의 첨가효과에 대해 마모성능시험을 통해 알아보고 비교 분석을 행하였다. 그 결과 윤활첨가제의 첨가를 통해 절삭 중 블레이드 표면에서 발생할 수 있는 응착 마멸현상이 줄어들었음을 확인할 수 있었고, 윤활첨가제의 적절한 첨가량에 대해 재조명 해 볼 수 있었다.