한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

리튬 이차전지에서 Si 음극박막의 구조적, 전기화학적 특성 연구

Structural and electrochemical properties of the Si anode film for lithium secondary batteries

  • 주승현 (고려대학교, 신소재공학과) ;
  • 이성래 (고려대학교, 신소재공학과) ;
  • 조병원 (한국과학기술연구원, 2차전지연구센터) ;
  • 조원일 (한국과학기술연구원, 2차전지연구센터)
  • 발행 : 2008.11.19
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

RF 마그네트론 스퍼터링의 파워 ($50{\sim}150W$) 및 분압 ($2{\sim}10\;mTorr$)등의 증착 조건과 두께 ($50{\sim}1200nm$)에 따르는 Si 박막의 미세구조 변화와 그에 따르는 전기화학적 특성에 대하여 연구하였다. 파워와 분압이 증가할수록 미세구조가 거칠어지며 그에 따라 초기용량은 증가하였으며 두께가 증가함에 따라 사이클 특성은 감소하는 경향을 보였다.

키워드