한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 2008.05a
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- Pages.378-381
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- 2008
A Novel Analysis Of Amorphous/Crystalline Silicon Heterojunction Solar Cells Using Spectroscopic Ellipsometer
Spectroscopic Ellipsometer를 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 박막 분석
- Ji, Kwang-Sun (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Eo, Young-Ju (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Kim, Bum-Sung (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Lee, Heon-Min (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Lee, Don-Hee (LG Electronics Advanced Research Institute)
- Published : 2008.05.22
Abstract
고효율 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지를 얻기 위해서는 우수한 c-Si wafer 위에 고품질의 비정질 실리콘박막을 통한 heterointerface를 형성하는 것이 매우 중요하다. 이를 달성하기 위해서는 공정중에 오염되기 쉬운 Si wafer 표면 상태를 정확히 검사하고 잘 관리하여야 한다. 본 연구에서는 세정 및 표면산화에 따른 Si wafer 상태를 Spectroscopic Ellipsometry 및 u-PCD를 이용하여 분석하였으며, <
Keywords