Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.10a
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  • Pages.33-34
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Patterning Line Type Oxide Nanostructures using Atomic Force Microscope(AFM) Lithography

Atomic Force Microscope Lithography를 이용한 선타입 옥사이드 구조물 패터닝

  • 김철웅 (고려대학교/(주)트리플씨메디칼) ;
  • 김태영 ((주)트리플씨메디칼 R&D Center)
  • Published : 2009.10.26
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Abstract

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