자기예압을 이용한 공기베어링 스테이지의 능동 진동 감쇄

Active Damping of an Air Bearing Stage with Magnetic Preloads

  • 노승국 (한국기계연구원 초정밀기계시스템실) ;
  • 김수현 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2009.10.26