Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.10a
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  • Pages.383-384
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Alignment Error Characteristic of Micro Electron Beam Lens System

소형 전자빔 렌즈의 얼라인 오차 특성 분석

  • 강은구 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
  • 김진석 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
  • 고용준 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
  • 변경원 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터) ;
  • 이석우 (한국생산기술연구원 디지털협업지원센터)
  • Published : 2009.10.26
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Abstract

Keywords