Filling Method of TSV Using Nano Ag Particle

Ag 나노 금속 입자를 이용한 TSV Filling

  • 김동표 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 박건식 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 백규하 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 함용현 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 신홍식 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 윤호진 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 강진영 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 박지만 (한국전자통신연구원 융합기술연구부) ;
  • 도이미 (한국전자통신연구원 융합기술연구부)
  • Published : 2009.10.26