Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.10a
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  • Pages.707-708
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Effect of acryl copolymer compositon on the wettability of thin wafer surface

아크릴공중합체 조성에 따른 초박형웨이퍼표면의 젖음성 변화

  • 김형일 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 유종민 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 남영희 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 이승현 (충남대학교 공업화학과) ;
  • 김현중 (서울대학교 환경재료과학과) ;
  • 박초희 (서울대학교 환경재료과학과) ;
  • 이용주 (서울대학교 환경재료과학과) ;
  • 김경만 (한국화학연구원 에너지소재센터)
  • Published : 2009.10.26
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Abstract

Keywords