Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.06a
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Pages.895-896
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Photoresist Patterning by Nano Imprint Lithography Process

나노 임프린트 공정을 이용한 포토 레지스트 패터닝

박수연 (과학기술연합대학원대학교) ;
안현진 (한국기계연구원 나노융합기계본부) ;
김영자 (한국기계연구원 나노융합기계본부) ;
이재종 (한국기계연구원 나노융합기계본부)

Published : 2009.06.03

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Abstract

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