Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

2009.10a
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Pages.324-325
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2009
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1598-2548(pISSN)

The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)

권호 표지

Resolution Improvement of AFM using the mechanical vibration measurement of an XY-axis VCM fine stage

XY-axis VCM fine stage 의 진동 측정을 이용한 AFM 의 분해능 향상

Kim, Chul-Soo (GIST) ;
Kim, Yong-Dae (LG Electronics Co.) ;
Jeong, Jong-Kyu (GIST) ;
Yum, Woo-Sub (GIST) ;
Park, Kyi-Hwan (GIST)

김철수 (광주과학기술원 기전공학과) ;
김용대 ;
정종규 (광주과학기술원 기전공학과) ;
염우섭 (광주과학기술원 기전공학과) ;
박기환 (광주과학기술원 기전공학과)

Published : 2009.10.29

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Abstract

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