Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Trend of High Rate Deposition Source for Vacuum Vapor Deposition

진공증착용 고속 증발원 기술 동향

  • 정재인 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부)
  • Published : 2009.05.27
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Abstract

최근 진공증착을 이용한 후막제조 기술의 수요증가와 더불어 코팅 생산성 향상과 자원절감을 위해 진공증착용 고속 증발원에 대한 요구가 점증하고 있다. 본 논문에서는 진공증착 특히, 물리증착에서 사용하는 각종 증발원에 대해 기술하고 최신 고속 증발원에 대한 기술 동향을 설명한다.

Keywords