Study of CNT synthesis process in Low temperature

수직방향 CNT 저온합성공정 연구

  • 최강호 (한국기계연구원부설 재료연구소 융합공정본부 전기화학연구그룹) ;
  • 이희수 (한국기계연구원부설 재료연구소 융합공정본부 전기화학연구그룹) ;
  • 정용수 (부산대학교 재료공학부) ;
  • 이규환 (부산대학교 재료공학부) ;
  • 임동찬 (부산대학교 재료공학부)
  • Published : 2009.05.27

Abstract

저온에서 CNT를 Thermal CVD방법을 이용하여 성장시켰다. 균일한 밀도와 크기의 CNT성장에 큰 역할을 하는 catalyst 형성제어를 위해 분산방법 및 catalyst의 종류를 달리하였다. 반응성가스의 유량 및 온도를 제어하여 수직방향으로 CNT를 성장시켰다.

Keywords