Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Mechanical Properties Evaluation of the Transparent Oxide Thin films for flexible Devices

연성소자용 투명산화물 박막의 기계적 특성 평가

  • 이성훈 (재료연구소 융합공정연구본부 기능박막연구그룹) ;
  • 윤정흠 (재료연구소 융합공정연구본부 기능박막연구그룹) ;
  • 조상현 (재료연구소 융합공정연구본부 기능박막연구그룹) ;
  • 정재혜 (재료연구소 융합공정연구본부 기능박막연구그룹) ;
  • 정유정 (재료연구소 융합공정연구본부 기능박막연구그룹) ;
  • 이건환 (재료연구소 융합공정연구본부 기능박막연구그룹)
  • Published : 2009.05.27
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Abstract

연성 기판을 기초로 하는 플렉서블 디스플레이 등의 연성 소자에 적용되는 TCO, 투습방지막의 기계적 특성을 시험하였다. 실제 사용 환경에서의 기계적 특성을 평가하기 위하여 굽힘시험과 인장시험을 적용하였다. PET 기판위에 PE-CVD 공정으로 성장된 실리콘 산화물 ($SiO_x$) 박막과 그 위에 스퍼터링 공정으로 성장된 투명 전도성 산화물 (TCO, Transparent Conducting Oxide) 박막의 시험 결과, 균열 생성 임계 변형량은 TCO 박막에 의해서 결정됨을 알 수 있었다. 따라서 향상된 기계적 특성을 얻기 위해서는 TCO 박막의 특성 제어가 필요하다.

Keywords