Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.05a
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- Pages.186-186
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- 2009
Electrical and Mechanical Properties of ITO Films Deposited on PET by RF Superimposed DC Magneoon Sputtering
RF 부가형 DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 PET 기판에 증착한 ITO 박막의 전기적 및 기계적 특성
- Published : 2009.05.27
Abstract
RF 부가형 DC 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여 상온에서 Indium tin oxide (ITO) 박막을 PET (polyethylene terephthalate) 기판 위에 증착하였다. 전체 파워는 70W로 유지하고 RF/ (DC+RF) 파워율은 0 %에서 100 %까지 20% 비율로 증가시켰다. 50 %의 RF/(RF+DC) 파워율에 의해 증착된 ITO 박막에서 상대적으로 낮은 비저항을 얻을 수 있었으며, bending test에 의한 기계적 내구성 또한 가장 우수하였다.
Keywords