Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Effect of hydrogen plasma pretreatment on Cu bottom-up filling of trench with Ru barrier metal

  • 문학기 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 김선일 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 권봉수 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 김진성 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 박영록 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 이내응 (성균관대학교 신소재공학부)
  • Published : 2009.05.27
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