한국정보디스플레이학회:학술대회논문집

한국정보디스플레이학회 (The Korean Infomation Display Society)
권호 표지

Flexible electronics based on polysilicon thin film transistor

  • Fortunato, G. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Cuscuna, M. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Maiolo, L. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Maita, F. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Mariucci, L. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Minotti, A. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Pecora, A. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Simeone, D. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Valletta, A. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Bearzotti, A. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Macagnano, A. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Pantalei, S. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100) ;
  • Zampetti, E. (IMM-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100)
  • 발행 : 2009.10.12
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초록

In this work we present a process to fabricate lowtemperature polysilicon (LTPS) TFTs on polyimide (PI) layers, spin-coated on Si-wafer used as rigid carrier. This process has been then used to fabricate elementary circuits as well as circuits for sensor applications.

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