한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 2009.06a
- /
- Pages.95-95
- /
- 2009
Influence of wafer cleaning on silicon heterojunction solar cells
웨이퍼 세척이 실리콘 이종접합 태양전지에 미치는 영향
-
Kang, Min-Gu
;
-
Tark, Sung-Ju
;
- Lee, Seung-Hun ;
-
Park, Sung-Eun
;
-
Kim, Chan-Seok
;
- Jeong, Dae-Young ;
-
Lee, Jung-Chul
;
-
Kim, Dong-Hwan
-
강민구
(고려대학교 신소재공학과)
;
-
탁성주
(고려대학교 신소재공학과)
;
- 이승훈 (고려대학교 신소재공학과) ;
-
박성은
(고려대학교 신소재공학과)
;
-
김찬석
(고려대학교 신소재공학과)
;
- 정대영 (한국에너지기술연구원) ;
-
이정철
(한국에너지기술연구원)
;
-
김동환
(고려대학교 신소재공학과)
- Published : 2009.06.25
Abstract
실리콘 이종접합 태양전지는 비정질 실리콘을 사용하여 p-n 접합을 만들기 때문에 결정질 태양전지에 비해 개방전압이 높은 특성을 보인다. 그렇지만 결정질 태양전지는 접합을 확산공정으로 만들어 p층과 n층의 계면에서 결함이 존재하지 않는 반면 이종접합 태양전지는 결정질 실리콘 표면에 접합을 만들기 때문에 결정질 실리콘의 표면에 defect이 존재할 가능성이 많아진다. 이번 실험에서 결정질 실리콘의 cleaning 조건 변화에 따른 이종접합 태양전지의 특성변화를 보았다. 실리콘 이종접합 태양전지는 전면전극/ITO/p a-Si:H/i a-Si:H/n c-Si/i a-Si:H/n a-Si:H/후면전극의 구조로 만들으며 p형 및 n형 비정질 실리콘은 PECVD를 이용하여 증착하였고 i형 비정질 실리콘은 HWCVD를 이용하여 증착하였다. 만들어진 태양전지의 특성을 평가하기 위해 암전류 특성, 광전류 특성, 양자효율, 소수반송자수명을 측정하였다.