Structural and chemical separation of TaSiN thin film for using the electrode of PRAM device

• Jeong, Min-Cheol ;
• Jeong, Min-Sang ;
• Choe, Deok-Gyun ;
• Lee, Yeong-Mi ;
• Park, Yong-Seop ;
• Hwang, Han-Na ;
• Ji, Hae-Geun ;
• Hwang, Chan-Guk ;
• Jang, Seung-Hun ;
• Han, Mun-Seop

• 정민철 (울산대학교 물리학과) ;
• 정민상 (한양대학교 신소재공학과) ;
• 최덕균 (한양대학교 신소재공학과) ;
• 이영미 (경희대학교 물리학과) ;
• 박용섭 (경희대학교 물리학과) ;
• 황한나 (포항가속기연구소 빔라인부) ;
• 지해근 (포항가속기연구소 빔라인부) ;
• 황찬국 (포항가속기연구소 빔라인부) ;
• 장승훈 (서울시립대학교 물리학과) ;
• 한문섭 (서울시립대학교 물리학과)

• Published : 2009.08.19

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