Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2009.08a
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Pages.206-206
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2009

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

TBE (Tunnel Barrier Engineered) 절연막이 $WSi_2$ 나노 부유 게이트 메모리소자 특성에 미치는 영향

서기봉 (한양대학교 물리학과) ;
이동욱 (한양대학교 물리학과) ;
김은규 (한양대학교 물리학과) ;
유희욱 (광운대학교 전자재료 공학과) ;
조원주 (광운대학교 전자재료 공학과)

Published : 2009.08.19

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Abstract

Keywords