반도체 공정 장비 응용을 위한 다양한 분위기에서 증착된 CVD SiC의 열전특성 비교

• Kim, Jun-Gyu ;
• Choe, Yu-Yeol ;
• Choe, Du-Jin ;
• Kim, Jeong-Il (R&D Center, Tokai Carbon Korea Ltd.)

• 김준규 (연세대학교 신소재공학과) ;
• 최유열 (연세대학교 신소재공학과) ;
• 최두진 (연세대학교 신소재공학과) ;
• 김정일

• Published : 2009.08.19

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