Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

XRR(X-ray Reflectometery)을 이용한 나노 스케일 박막의 두께 및 정밀도 분석

  • 박재환 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 유병윤 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 빈석민 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 김창수 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 오병성 (충남대학교 물리학과) ;
  • 최용대 (목원대학교 기술마케팅학과)
  • Published : 2009.08.19
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Abstract

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