듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가

  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 조성우 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 강재욱 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김한기 (금오공과대학교 정보나노소재공학과)
  • 발행 : 2009.02.11