한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

펄스 마그네트론 스퍼터링에 의한 태양전지용 AZO 박막의 대면적 동적 증착시의 균일도 문제

  • 양원균 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터(PMRC)) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터(PMRC))
  • 발행 : 2009.02.11
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