원자층 증착법에 의한 구리 박막 성장에 관한 연구

• 문대용 (한양대학교 나노반도체공학과) ;
• 김웅선 (한양대학교 신소재공학부) ;
• 강병우 (한양대학교 신소재공학부) ;
• 염승진 (하이닉스반도체(주)) ;
• 김재홍 (하이닉스반도체(주)) ;
• 박종완 (한양대학교 신소재공학부)

• Mun, Dae-Yong ;
• Kim, Ung-Seon ;
• Gang, Byeong-U ;
• Yeom, Seung-Jin ;
• Kim, Jae-Hong ;
• Park, Jong-Wan

• 발행 : 2009.02.11

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