$Cl_2$/Ar를 이용한 Cr 박막의 반응성 이온 식각

• Lee, Seo-Yeong ;
• Jang, Seong-Jun ;
• Bae, Si-Yeong ;
• Lee, Yong-Tak

• 이서영 (광주과학기술원 광과학기술학제학부) ;
• 장성준 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
• 배시영 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
• 이용탁 (광주과학기술원 광과학기술학제학부)

• Published : 2009.02.11

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