W-C-N 확산방지막의 전자거동(electromigration) 특성과 표면 강도(surface hardness) 특성 연구

• 김수인 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
• 김창성 (경기북과학고) ;
• 이재윤 (경기북과학고) ;
• 박준 (경기북과학고) ;
• 노재규 (경기북과학고) ;
• 안창근 (경기북과학고) ;
• 오찬우 (경기북과학고) ;
• 함동식 (경기북과학고) ;
• 황영주 (경기북과학고) ;
• 유경환 (경기북과학고) ;
• 이창우 (국민대학교 나노전자물리학과)

• Kim, Su-In ;
• Kim, Chang-Seong ;
• Lee, Jae-Yun ;
• Park, Jun ;
• No, Jae-Gyu ;
• An, Chang-Geun ;
• O, Chan-U ;
• Ham, Dong-Sik ;
• Hwang, Yeong-Ju ;
• Yu, Gyeong-Hwan ;
• Lee, Chang-U

• 발행 : 2009.02.11

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