Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.186-186
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- 2009
Plasma를 이용한 세정액의 활성화와 시료 표면의 탄성계수 및 강도 변화에 대한 연구
- Kim, Su-In ;
- Kim, Hyeon-U ;
- No, Seong-Cheol ;
- Yun, Deok-Jin ;
- Jang, Hong-Jun ;
- Lee, Jong-Rim ;
- Lee, Chang-U
- 김수인 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김현우 (한국과학영재학교) ;
- 노성철 (한국과학영재학교) ;
- 윤덕진 (한국과학영재학교) ;
- 장홍준 (한국과학영재학교) ;
- 이종림 (한국과학영재학교) ;
- 이창우 (국민대학교 나노전자물리학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords