한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구

  • 권광호 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 임종혁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김경남 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 홍승표 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2009.02.11
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