Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

유연성 소자 적용을 위한 공정 조건에 따른 $SiO_x$ 보호막 특성 평가

  • 정유정 (기능박막연구그룹, 융합공정연구부 한국기계연구원 부설 재료연구소(KIMS)) ;
  • 윤정흠 (기능박막연구그룹, 융합공정연구부 한국기계연구원 부설 재료연구소(KIMS)) ;
  • 이건환 (기능박막연구그룹, 융합공정연구부 한국기계연구원 부설 재료연구소(KIMS))
  • Published : 2009.02.11
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