Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
- /
- Pages.119-120
- /
- 2009
Change of Deposition Rate and Vapor Distribution of Al Coatings Prepared by Vacuum Evaporation and Arc-induced Ion Plating
증착방법에 따른 Al 피막의 증착율 및 증기분포 연구
Abstract
진공증착 및 이온플레이팅 방법을 이용하여 냉간 압연된 강판상에 알루미늄 피막을 형성시킨 후, 증발율 및 증기분포 변화를 측정하고 각 증착방법에서의 증발율에 따른 증기분포 변화를 비교 및 검토하였다. 본 실험에서의 이온플레이팅은 증발원 근처에 이온화전극을 설치하는 방법으로 고전류 아크 방전을 유도하여
Keywords