Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
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- Pages.129-130
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- 2009
Effect of the Ion Beam Conditions and Interlayer on the Formation of Diamond-like Carbon Films
이온빔 조건과 Interlayer가 다이아몬드상 탄소 박막의 형성에 미치는 영향
- Lee, Yeong-Min ;
- Jang, Seung-Hyeon ;
- Jeong, Jae-In ;
- Park, Yeong-Hui ;
- Yang, Ji-Hun ;
- Lee, Gyeong-Hwang ;
- Kim, Hyeon-Gu
- 이영민 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 장승현 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 정재인 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 박영희 (포항산업과학연구원 마그네슘연구단) ;
- 양지훈 (포항산업과학연구원 융합공정연구본부) ;
- 이경황 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구본부) ;
- 김현구 ((주)케이디엘씨)
- Published : 2009.10.14
Abstract
다이아몬드상 탄소 (Diamond-like Carbon; DLC) 박막은 광학재료의 보호 및 무반사 코팅, 저마찰 오버코팅 및 평판 표시소자의 전계방출 Tip 코팅 등 다양한 분야에 응용이 기대되고 있는 재료이다. 이온빔 방식의 DLC 박막 제조 장치를 이용하여 다양한 조건에서 DLC 박막을 제조하고 그 특성을 평가하였다.
Keywords