한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

하이브리드 코팅 시스템을 이용한 $CrAlC_xN_{1-x}$ 코팅의 합성과 기계적 특성

Synthesis and mechanical properties of $CrAlC_xN_{1-x}$ coatings by a hybrid coating system

  • 최지환 (부산대학교 하이브리드소재 솔루션 국가핵심연구센터) ;
  • 홍영수 (부산대학교 재료공학과) ;
  • 김광호 (부산대학교 하이브리드소재 솔루션 국가핵심연구센터)
  • 발행 : 2009.10.14
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초록

아크이온플래이팅 기술과 DC 마그네트론 스퍼터링 기술이 결합된 하이브리드 코팅 시스템을 이용하여 STS 304와 Si 기판에 4성분계 CrAlCxN1-x 코팅을 증착하였다. 합성된 CrAlCxN1-x 코팅은 주로 유도결합형로 f구성되었다. CrAlCxN1-x 코팅의 carbon 함량이 0.17 at.%일 때 약 34 GPa을 나타내었으며 마찰계수는 carbon 함량이 0에서 1 at.%로 증가함에 따라 0.82에서 0.38까지 크게 감소하였다. 이는 코팅 표면과 steel 볼 사이에 amorphous carbon layer가 형성되어 고체윤활제로 작용한 것으로 사료된다.

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