Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A real time regulator of plasma properties

실시간 플라즈마 특성 조정기

  • 이동호 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 김병환 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 이학성 (세종대학교 전자공학과)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

본 연구에서는 플라즈마 기본 변수인 전자밀도, 전자온도, 그리고 이온 유량을 제어하는 조정기를 설계하였다. 플라즈마 증착장비를 이용하여 상온에서 SiN 박막을 증착하는 과정에서 in-situ 센서인 Wise Probe를 이용하여 데이터를 수집하였다. 수집된 데이터를 이용하여 플라즈마 확인 (Identification) 모델을 개발하고, 이를 이용하여 Linear Quadratic Regulator를 설계하였다. Noise와 Disturbance에 대한 응답특성을 고찰하였으며, 설계된 Regulator는 비교적 안정된 반응을 보였다.

Keywords