Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

$TiO_2$ 나노 패터닝을 이용한 LED의 광추출 효율 향상

  • 윤경민 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 양기연 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 변경재 (고려대학교 신소재공학과) ;
  • 이헌 (고려대학교 신소재공학과)
  • Published : 2009.10.14
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Abstract

GaN 기반 LED 소자의 ITO 표면에 sol-imprinting 기술을 이용하여 잔여층 없이 $TiO_2$ 나노 패턴을 형성하였다. 알콕사이드 계열의 $TiO_2$ sol과 Si 몰드로부터 복제된 PDMS 몰드를 사용하여 표면에 패턴을 형성하고, 이 후 annealing을 통해 내부에 남아있던 불순물을 제거하고 다결정 $TiO_2$을 형성하였다. 표면에 형성된 $TiO_2$ 나노 패턴이 LED 소자 내부에서 발생한 빛의 전반사를 억제하기 때문에 소자의 광추출 효율이 증가하였다.

Keywords