DOI QR코드

DOI QR Code

A Study on Semiconductor Process Device Managing and Monitoring

반도체 생산 공정 디바이스 관리 및 모니터링에 관한 연구

  • Song, Kyung-Soo (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University) ;
  • Lee, Li-Na (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University) ;
  • Ni, Georgy (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University) ;
  • Kim, Su-Hee (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University)
  • Published : 2010.04.23

Abstract

반도체 공정 과정에서 설비의 효율의 높이고 생산성 향상을 도모하며 라인의 품질 사고 방지를 위하여 공정 진행 과정을 실시간으로 모니터링하는 것은 매우 중요하다. 이 연구에서는 반도체 공정의 전반적인 작업현황을 실시간으로 파악하고 비정상적인 상황이 발생하는 경우 즉각적으로 대응하기 위해 생산현장의 임베디드 PC들과 통신하여 공정 처리 데이터를 저장하고 이상 발생과 이력 정보 등을 제공하는 웹기반 모니터링시스템을 설계하고 구현하고자 한다. 이 논문의 궁극적인 목표는 작업라인의 현황을 실시간으로 파악하는 온라인 시스템을 구축하여 인력의 고도화를 도모하고 기업의 생산성 증대와 제품의 품질 향상에 기여하는 것이다.

Keywords