ALD에 의해 성장된 ZnO 산화물 트랜지스터의 특성과 Al의 첨가에 안정성 향상

  • 안철현 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 우창호 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 이주호 (한국과학기술원 신소재공학부) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 신소재공학부) ;
  • 조형균 (성균관대학교 신소재공학부)
  • Published : 2010.06.16