Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

A Study on the Design of Thermal Isolation of Micro Bolometer Membrane for Thermal Image

고해상도 열영상 구현을 위한 마이크로 볼로미터의 픽셀 구조 및 특성 연구

  • Nam, Tae-Jin (Department of Energy Semiconductor Engineering, Far East University) ;
  • Lee, Jung-Hoon (Department of Energy Semiconductor Engineering, Far East University) ;
  • Jung, Eun-Sik (Department of Electrical Engineering, Korea university) ;
  • Kang, Tae-Young (OCAS) ;
  • Kang, Ey-Goo (Department of Energy Semiconductor Engineering, Far East University)
  • Published : 2010.06.16
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

열영상의 해상도 증가 시 야기되는 감도저하를 해결하고자 단위 픽셀의 크기를 줄이고 필팩터 향상을 위한 2앵커, 4앵커 구조를 제안하고 앵커 구조에서 Leg 구성물질의 두께변화에 따른 온도 변화 및 열전도도 특성을 실험을 통해 최적화 된 열영상을 구현한다.

Keywords