마이크로 볼로미터 어레이의 모놀로식 공정을 위한 ohmic contact 최적화 구조 설계에 대한 연구

A Study on the Design of Optimized Ohmic Contact Structure for Micro Bolometer Monolithic Process

  • Kim, Bum-June (Department of Energy Semiconductor Engineering Far East University) ;
  • Ko, Su-Bin (Department of Energy Semiconductor Engineering Far East University) ;
  • Jung, Eun-Sik (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Kang, Tae-Young (OCAS) ;
  • Kang, Ey-Goo (Department of Energy Semiconductor Engineering Far East University)
  • 발행 : 2010.06.16

초록

볼로미터 제작 공정 중 One step via 공정 시 via hole 모양에 의해 정기적 연결 및 구조적 안정성에 문제를 해결하기 위하여 다른 via 식각 방식으로 공정을 진행하였으며 그에 따른 via 공정 차이에 대한 결과를 연구하였다.

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