한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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Pages.113-114
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2010
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

랩핑 정반 형상에 따른 사파이어 웨이퍼 형상 변화 특성 연구

Study on the Effect of a Platen Flatness on the Shape of a Wafer in Mechanical Lapping of Sapphire

이태경 (한국생산기술연구원) ;
김형재 (한국생산기술연구원) ;
조형호 (한국생산기술연구원) ;
류호연 (한국생산기술연구원) ;
정해도 (부산대학교)

발행 : 2010.11.11

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