한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

패드 그루브 치수에 따른 CMP 특성 및 해석

Groove Size Effect on CMP Characteristics and Analysis

  • 과용창 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
  • 이영균 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
  • 이현섭 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
  • 정해도 (부산대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2010.11.11
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