한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.153-154
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
표면거칠기 값을 이용한 CMP 패드 미세형상 간소화
Simplification of Microtopography on CMP Pad using Surface Roughness Parameters
- 정호빈 (부산대학교 기계공학부) ;
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이현섭
(부산대학교 정밀 정형 및 금형 가공 센터)
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- 최성하 (부산대학교 기계공학부) ;
- 신운기 (부산대학교 기계공학부) ;
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이호준
(부산대학교 기계공학부)
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정해도
(부산대학교 기계공학부)
- Jeong, H.B. ;
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Lee, H.S.
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- Choi, S.H. ;
- Shin, W.K. ;
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Lee, H.J.
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Jeong, H.D.
- 발행 : 2010.11.11